GWI Glass Wafer Inspection

Das GWI System wurde entwickelt speziell um Fehler auf Wafern in einem frühen Stadium der Produktion zu erkennen. Das System basiert auf einer hochauflösenden smart Kamera um die geforderte Genauigkeit in der Fehlererkennung zu erreichen.

Die komplette Auswertung des aufgenommenen Bildes erfolgt in der smart Kamera. Das heisst, das Bild des Glaswafers wird aufgenommen und sofort in der Kamera ausgewertet. Die Ergebnisdaten und Bilder werden zur SPS übertragen.

Zusätzlich gibt es die Möglichkeit ein Display direkt an die Kamera anzuschließen um die Ergebisse an einem Monitor zu sehen.

Um den Auswerteprozess durchzuführen sind Ethernet, RS232 und Power I/O Anschlüsse vorhanden. Der Power I/O Anschluss beinhaltet auch die RS232 Schnittstelle.

Das GWI System erkennt Fehler wie z.B.: Kratzer, Partikel und Substrat-Fehler.

GWI System Setup

Aufbau:Aluminium (schwarz)
Beleuchtung:LED Beleuchtung von der Unterseite

Kamera Hardware

CPU

Kerne:
ARM Cortex-A8 mit 1 GHz (OMAP3730)
Caches:
L1_ 32KB D+ 32KB I, L2: 256 KB
SIMD
NEON, 8 x 8 bit, VFPv3
DSP
TI DSP C64x @ 800 MHz

Speicher

DDR RAM
512 MB
FLASH
2x microSD 1x int., 1x ext.

I/O Interface

SPS
2 In-/ 4-Out optional 4 In-/ 8-Out
sonst.
VGA-Monitor, RS232, USB 2.0

Sensor Typ

CMOS und CCD Sensoren erhältlich

Software

Linux Betriebssystem mit GUI

  • EyeVision RT 2.6Rxxx (Drag-and-Drop Programmierung)
  • EyeWeb Webserver
  • EyeControl (Remote control)
  • EyeView und EyeMultiView (Display von bis zu 16 Kameras)

Beispiele:

fehlerhafte Wafer
EyeVision Software mit detektieren Partikeln und Kratzern
EyeVision Software mit detektierem Substrat-Fehler